電動(dòng)氣壓泵：通過精密步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)活塞或波紋管，壓縮/釋放氣體（如空氣或氮?dú)猓?，生成可控微壓?/div>
微流量控制閥：調(diào)節(jié)氣體流量，結(jié)合高精度壓力傳感器閉環(huán)反饋，穩(wěn)定輸出目標(biāo)壓力。
手動(dòng)壓力源（如手操泵）：適用于低成本場景，依賴人工操作產(chǎn)生壓力（精度較低）。
(2) 壓力測量原理
高精度壓力傳感器：采用硅諧振式、電容式或壓阻式傳感器，測量生成的微壓信號。
硅諧振傳感器：通過諧振頻率變化檢測壓力，精度可達(dá)±0.01% FS。
電容式傳感器：利用極板間距變化測量壓力，抗干擾性強(qiáng)。
溫度補(bǔ)償：內(nèi)置溫度傳感器，修正環(huán)境溫度對壓力測量的影響。
(3) 信號處理與顯示
ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換）：將傳感器輸出的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
非線性修正：通過算法補(bǔ)償傳感器的非線性誤差（如多項(xiàng)式擬合）。
人機(jī)交互：LCD顯示實(shí)時(shí)壓力值，支持單位切換（Pa/mbar/inH?O等）。
